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光傳感器晶圓測試儀價格

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱光焱科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SG-O
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2025/4/13 7:51:35
  • 訪問次數(shù)425
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光焱科技股份有限公司介紹

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Enlitech光焱科技創(chuàng)建于2009年,專精量子效率(Quantum Efficiency/ SR/ IPCE)測量,從事科學(xué)儀器的研發(fā)、客制化生產(chǎn)并提供客戶一站式解決方案及服務(wù)。

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  • R&D 創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)整合、客戶端解決方案

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在日新月異的太陽能光伏/半導(dǎo)體/材料科學(xué)/化學(xué)領(lǐng)域中,為客戶預(yù)先提供“下一步”解決方案,幫助客戶實(shí)現(xiàn)在科學(xué)研究、技術(shù)和產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的專業(yè)和創(chuàng)新突破。我們擁有光學(xué)技術(shù)、機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、電子與電控技術(shù)整合、軟體與資料庫設(shè)計(jì)開發(fā),根據(jù)產(chǎn)業(yè)動態(tài)、豐富業(yè)務(wù)經(jīng)驗(yàn),為客戶提供產(chǎn)品與專案企劃、咨詢需求到系統(tǒng)運(yùn)營的整合性服務(wù)。成功協(xié)助客戶在半導(dǎo)體材料、太陽能電池、鈣鈦礦太陽能電池(Perovskite Solar Cell)、新型材料研究及影像傳感器(CMOS Sensor)、相機(jī)(含手機(jī)相機(jī)、工業(yè)相機(jī)及科學(xué)及相機(jī))等領(lǐng)域的研發(fā)上取得許多重大突破并獲得優(yōu)越成果。

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  • 鈣鈦礦太陽能電池(Perovskite Solar Cell)應(yīng)用服務(wù)

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擴(kuò)展鈣鈦礦太陽能電池(Perovskite Solar Cell, PSC)應(yīng)用領(lǐng)域、提高轉(zhuǎn)換效率,是近年前沿研究的主要課題。近十年,鈣鈦礦太陽能電池光電轉(zhuǎn)換效率的成長紀(jì)錄不斷刷新世界紀(jì)錄,目前已達(dá)到23.3%,成為太陽能電池領(lǐng)域的新秀!由于鈣鈦礦太陽電池具有高度不穩(wěn)定性、衰減速率快等特性,成為研究人員面臨的挑戰(zhàn)。我們針對鈣鈦礦太陽能電池的特性,提供涵蓋設(shè)計(jì)、研發(fā)、軟體、測樣、分析管理等測量儀器與整合方案,讓客戶能有效、準(zhǔn)確地測出鈣鈦礦太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率,為客戶研究創(chuàng)新帶來優(yōu)勢。

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  • 多元產(chǎn)業(yè)應(yīng)用服務(wù)

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光焱科技將光電檢測技術(shù),延伸至半導(dǎo)體、材料科學(xué)、LED發(fā)光材料、航太應(yīng)用及生醫(yī)領(lǐng)域,提供專案研發(fā)和實(shí)驗(yàn)室儀器配套應(yīng)用的制造、整合、測試和維護(hù)管理供應(yīng)鏈服務(wù)。服務(wù)亦涵蓋標(biāo)定校正設(shè)備的客制研發(fā),為科學(xué)研究、檢測認(rèn)證、新產(chǎn)品開發(fā)、制造生產(chǎn)提供完整可靠的一站式解決方案。

技術(shù)與維護(hù)服務(wù)

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光焱科技自2012年起陸續(xù)在大陸、日本、美國、中東及印度建立銷售通路及售后服務(wù)據(jù)點(diǎn),我們致力于提供給客戶完整的檢測分析工具,即時提供合適的解決方案,協(xié)力科學(xué)研究、助力產(chǎn)業(yè)升級創(chuàng)新。我們的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品及專案能依據(jù)客戶需求進(jìn)行調(diào)整和擴(kuò)展,服務(wù)分為四大類別:

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*專案解決方案:依據(jù)客戶需求進(jìn)行新產(chǎn)品研發(fā)/產(chǎn)品升級/系統(tǒng)整合等服務(wù)。

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*One-stop-shop 一站式統(tǒng)合服務(wù):涵蓋多元的廠牌合作服務(wù)。

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*維護(hù)管理服務(wù):提供維修及產(chǎn)品健檢管理服務(wù)。

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*快速支援服務(wù):涵蓋售前售后客服支援、技術(shù)支援、科研支援服務(wù)。

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QE量子效率測試儀,3A 級太陽光模擬器,REPS-Voc損耗分析儀,瞬態(tài)光電流/光電壓測試儀(TPC/TPV),PECT600,室內(nèi)光模擬器等
SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀,它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從 400nm 到 1700nm 的連續(xù)白光光譜,以及在許多不同波長下具有一定 FWHM 的單色光輸出。探測器可以處理。200mm 晶圓尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片。SG-O 集成了超低噪音熱卡盤,可提供 -60°C 至 180°C 的溫度范圍
光傳感器晶圓測試儀價格 產(chǎn)品信息

特色



高度均勻的光源

  • 從 UV 到 SWIR 的寬光譜范圍

  • 超過 50mm x 50mm 區(qū)域的高度均勻性超過 98%

  • 超穩(wěn)定光強(qiáng)度,可維持不穩(wěn)定性 < 0.2% 長達(dá)10小時以上

  • 高光強(qiáng)動態(tài)范圍,高達(dá) 140dB

可編程自動探測器

  • 200mm ~ 10mm 晶圓或芯片處理能力

  • 用于準(zhǔn)確可靠的 DC / CV、RF 測量

  • 穩(wěn)定的功能顯微鏡系統(tǒng)

  • 整合硬件控制面板

  • 自動晶圓裝載機(jī)

  • 智能晶圓映射

寬溫低噪音卡盤

  • 模塊化卡盤

  • -80°C 至 180°C 的寬溫度范圍

  • 優(yōu)良的 CDA 熱控制技術(shù),高斜坡率和高 T 穩(wěn)定性

  • 用于精確 CIS / ALS/ 光傳感器晶圓測試的超低噪聲

應(yīng)用


  • CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試

  • CIS / ALS / 光傳感器晶圓映射和良率檢查

  • ToF 傳感器測試

  • 激光雷達(dá)傳感器測試

  • InGaAs PD 測試

  • SPAD 傳感器測試

  • 光傳感器模擬參數(shù)測試:

    1. 量子效率

    2. 光譜響應(yīng)

    3. 系統(tǒng)增益

    4. 靈敏度

    5. 動態(tài)范圍

    6. 暗電流/噪聲

    7. 信噪比

    8. 飽和容量

    9. 線性誤差(LE)

    10. DCNU(暗電流非均勻性)

    11. PRNU(光響應(yīng)非均勻性)

系統(tǒng)設(shè)計(jì)


SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 測試儀(晶圓級)系統(tǒng)圖。高度均勻的光源由 PC-1 控制。光輸出由光纖引導(dǎo)到光學(xué)均化器以產(chǎn)生均勻的光束。顯微鏡和均質(zhì)器由 PC-1 的自動平移臺控制,以切換位置和功能。Prober 系統(tǒng)為 MPI TS2000,由 PC-2 控制??ūP臺的位置也由 PC-2 控制。熱卡盤溫度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ,涵蓋了大部分 IC 測試溫度范圍。光強(qiáng)度由一個 Si 光電探測器和一個 InGaAs 光電探測器通過皮安電流表檢測和校準(zhǔn)。

規(guī)格


SG-O 為您在 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試中需要的所有內(nèi)容提供完整的規(guī)范。以下是主要組件及其詳細(xì)信息。如果您需要更多詳細(xì)信息,請隨時與我們聯(lián)系!

Contact Us

高度均勻的光源
  • 光譜范圍:400nm 至 1700nm

  • 色溫:3000K 至 5200K

  • 均勻照明面積:42mm x 25mm,工作距離 >200mm

  • 照度均勻度:優(yōu)于98%

  • 短期光不穩(wěn)定性:≤ 1% 超過 1 小時

  • 長期光不穩(wěn)定性:≤ 1% 超過 10 小時

  • DUT與zui后一個光學(xué)組件之間的工作距離:≥200mm工作距離

  • 單色光生成:

  1. 10nm FWHM 中心波長:420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

  2. 25nm FWHM 中心波長:1010nm, 1250nm, 1450nm

  3. 45±5nm FWHM 中心波長 815nm

  4. 50nm FWHM 的中心波長:1600nm

  5. 60±5nm FWHM 中心波長:650nm

  6. 70±5nm FWHM 的中心波長:485nm, 555nm

  7. 100±5nm FWHM 的中心波長:1600nm

    • 帶外透光率 ≤ 0.01%

    • 帶通區(qū)峰值傳輸 ≥ 80%

    • 中心波長容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

    • FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

  • 可變衰減器:PC 控制的 3-decade 分辨率,至少 1000步

半自動晶圓探針

  • 晶圓尺寸能力:200mm、150mm、100mm 晶圓和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片

  • 晶圓處理:單晶圓,手動進(jìn)料型

  • 半自動化:一步手動對準(zhǔn)教和自動模步進(jìn)

  • XYZ 平臺

  • 卡盤 XY 載物臺行程:210mm x 300mm

  • 卡盤 XY 平臺分辨率:優(yōu)于 0.5um

  • 夾頭 XY 平臺精度:優(yōu)于 2.0um

  • 卡盤 XY 平臺速度:最慢:10 微米/秒,zui:50 毫米/秒

  • Chuck Z 載物臺行程:50mm

  • Chuck Z 平臺分辨率:0.2um

  • 卡盤 Z 平臺精度:±2.0um

  • Theta 平臺

  • Theta 載物臺行程:± 5 度運(yùn)動范圍

  • Theta 分辨率:優(yōu)于 0.01 度

  • Theta 精度:0.1 度

  • 卡盤

  • 卡盤平整度 ≤ 10um

  • 卡盤熱操作:-60°C 至 200°C

  • 25°C 時的卡盤泄漏: 25°C 時在 10V 偏壓下每個電壓 ≤ 20fA

  • 卡盤剩余電容 ≤ 95fF

  • 探針卡

  • 探針卡尺寸:4.5 英寸至 8 英寸長

  • 探針卡座與壓板之間的間隙:≥ 7.5mm

  • 微型腔室

  • EMI 屏蔽:在 1kHz 至 1MHz 范圍內(nèi) ≥ 30dB

  • 系統(tǒng)交流噪聲:≤ 5mVp -p

  • 微型定位器

  • 顯微鏡

  • 隔振臺

光譜輻照度計(jì)

  • 光譜范圍:400nm 至 1600nm

  • 波長分辨率:400nm 到 1000nm 增加步長 < 1nm;1000nm 到 1600nm 增加步長 < 3.5nm

  • 校準(zhǔn):NIST 可追溯校準(zhǔn)證書

更多規(guī)格

  SG-O 集成了 Enlitech 的高級光模擬器技術(shù)和 MPI 自動探針系統(tǒng)。Enlitech 提供多種光學(xué)選項(xiàng)以滿足用戶對 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試的要求,包括波長范圍、光強(qiáng)度和均勻光束尺寸。我們擁有數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn),可以幫助客戶解決 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試和設(shè)計(jì)變化的挑戰(zhàn)。請隨時與我們聯(lián)系以獲取更多詳細(xì)信息。我們的專業(yè)團(tuán)隊(duì)將為您提供幫助!


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主要表現(xiàn)


SG-O 系統(tǒng)的操作軟件。對于高度均勻光源控制軟件,SG-O 提供光源系統(tǒng)控制和光強(qiáng)測量。提供了各個光學(xué)組件的 Labview 功能調(diào)色板、驅(qū)動程序 / DLL 文件。該軟件控制所述平移臺以促進(jìn)照射大是在零件的設(shè)備。集成鏈接的整合包括發(fā)送 / 接收命令,例如芯片步進(jìn)、芯片對齊 / 探測等。

來自 SG-O 顯微鏡系統(tǒng)的  CIS / ALS / 光傳感器芯片圖像

SG-O-CIS-wafer-level-tester-23_-wafer-and-probe-card-install.jpg

SG-O-CIS-wafer-level-tester-23_-wafer-and-probe-card.jpg


CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓的探針卡安裝圖

用于 CIS / ALS / 光傳感器晶圓檢測的探針頭圖像


SG-O CIS 晶圓級測試儀的光均化器

SG-O CIS 晶圓級測試儀光均化器的光學(xué)模擬和性能

光束均勻度,在 420nm 下用 42mm x 25mm 測試光束點(diǎn)均勻性,不均勻度為 1% 圖示

光束均勻度,束斑尺寸為 50mm x 50mm,不均勻性為 1.43% 圖示

不同波長的單色光強(qiáng)度,從紫外到近紅外;光強(qiáng)度由Si輻照度計(jì)測量,光強(qiáng)度范圍能夠用于各種 CIS / ALS / 光傳感器測試圖示

從 NIR 到 SWIR 不同波長的單色光強(qiáng)度,光強(qiáng)度由 InGaAs 輻照度計(jì)測量圖示

SG-O 的高度均勻光源具有一個超穩(wěn)定的光引擎,在整個波長范圍內(nèi),短期或長期的光強(qiáng)不穩(wěn)定性均優(yōu)于 0.2%。

圖示在 420nm 單色光輸出下測試光強(qiáng)度短期不穩(wěn)定性,光不穩(wěn)定性由 Si 輻照度計(jì)監(jiān)測 60 分鐘,1 小時的不穩(wěn)定性為 0.12%

圖示在 1250nm 單色光輸出下測試光強(qiáng)短期不穩(wěn)定性, 光不穩(wěn)定性由 SInGaAs 輻照度計(jì)監(jiān)測 60 分鐘,1 小時的不穩(wěn)定性為 0.09%

在 420nm 單色光輸出下測試光強(qiáng)度短期不穩(wěn)定性,光不穩(wěn)定性由 Si 輻照度計(jì)監(jiān)測 10 小時,10 小時的不穩(wěn)定性為 0.1% 圖示

在 1250nm 單色光輸出下測試光強(qiáng)短期不穩(wěn)定性,光不穩(wěn)定性由 SInGaAs 輻照度計(jì)監(jiān)測 10 小時,10 小時不穩(wěn)定性為 0.06% 圖示


圖示為 SG-O 系統(tǒng)的光強(qiáng)衰減器,光輸出強(qiáng)度可以通過 PC 至少 1000 步分辨率來控制

自動探測器的情況說明書,SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀集成了 MPI 探針,更多細(xì)節(jié)可以在 MPI 的網(wǎng)站上找到

數(shù)據(jù)源: MPI


SG-O 探針系統(tǒng)中內(nèi)置了自動單芯片裝載機(jī)。便于CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓裝載。裝載和卸除晶圓對用戶來說是直接和直觀的。上料室前部還集成了溫度控制面板,方便操作。

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀還具有手動加載功能,可以從前門手動加載晶圓。該前門具有安全管理功能,可自動監(jiān)測卡盤溫度并防止在測試過程中打開門,以保護(hù) CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓和用戶的安全。

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀的熱卡盤由 ERS 最小化的 CDA 系統(tǒng)控制溫度,比以前效率更高。溫度范圍可覆蓋 -80°C 至 180°C(取決于 ERA’a型號)。通過使用單獨(dú)的閥門可以進(jìn)行氮?dú)獯祾?。對?CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試,目標(biāo)溫度上升速率和穩(wěn)定性非常出色,可在任何







條件下(例如空間)進(jìn)行。


探針卡尺寸能力可以從 4.5 英寸到 8 英寸長,如圖所示 DUT 與 SG-O 高均勻光源zui后一個光學(xué)組件的工作距離超過 200mm

探針卡尺寸能力可以從 4.5 英寸到 8 英寸長,如圖所示 DUT 與 SG-O 高均勻光源xui后一個光學(xué)組件的工作距離超過 200mm



關(guān)鍵詞:傳感器 PA PC
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