立式甩干機SA-SV422
1、伺服電機驅(qū)動及主軸連接技術(shù)
1.1離心旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是設(shè)備的核心功能，旋轉(zhuǎn)電機就成為設(shè)備的核心部件之一。本機采用伺服電機驅(qū)動方式，實現(xiàn)無極調(diào)速加減速可調(diào)。
1.2主軸采用雙作用軸承提高軸向及徑向負載能力，間隙更小。軸端與轉(zhuǎn)盤間采用氣密封保護，隔絕外界油污及大氣污染腔體。保證圓片潔凈度。
2、工作腔
工作腔體采用耐腐蝕的不銹鋼焊接而成，腔體、籃架、支架等采用電解拋光鈍化技術(shù)，易擦洗不生銹。
3、旋轉(zhuǎn)載體及片架結(jié)構(gòu)
3.1旋轉(zhuǎn)載體由不銹鋼轉(zhuǎn)盤和可方便更換的不銹鋼片架組成，如需更換片架，只需將片架卸下，即可更換為另一種片架。
3.2片架采用可反轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，放置花籃時將花籃翻轉(zhuǎn)到一定角度可方便的將花籃放進片架內(nèi)。
3.3該旋轉(zhuǎn)載體及片架結(jié)構(gòu)不僅更換方便，而且結(jié)構(gòu)簡潔，沖洗和甩干時，晶片及片盒不會留下死角。
4、層流風(fēng)干法
晶片在旋轉(zhuǎn)過程中，產(chǎn)生同一方向的氣流，氣流由設(shè)備門蓋上方進入至上而下的氣流方向，經(jīng)由排風(fēng)排水管道出。排風(fēng)口在上方，排水口在下方。 氣流經(jīng)由除靜電裝置及高效過濾器處理微塵，滿足顆粒度要求。
5、免沖水設(shè)計
設(shè)備無需增加額外沖水功能，避免二次污染，加快干燥工藝時間。
6、軸系動平衡及減震系統(tǒng)
硅片的生產(chǎn)中，降低生產(chǎn)過程中的碎片率是降低成本、提的重要手段。而晶片干燥過程中震動過大、減震不良是造成碎片的主要原因。我們采用的現(xiàn)場動平衡儀，對設(shè)備的整個軸系進行動平衡。
7、系統(tǒng)控制技術(shù)
7.1控制系統(tǒng)采用可編程邏輯控制器，彩色液晶觸摸屏漢顯監(jiān)控?？纱鎯Χ喾N用戶工藝菜單。同時具有密碼保護功能，用戶只有在輸入正確的密碼后才可對工藝菜單進行編輯和修改，否則只能調(diào)用已經(jīng)保存工藝菜單。另外，根據(jù)用戶的反饋，增加了管理員密碼功能，以加強對工藝菜單的保護。
7.2設(shè)備運行過程中的工藝時間、轉(zhuǎn)子速度、轉(zhuǎn)速和工作狀態(tài)以及故障信息等均在觸摸屏上顯示，使用戶對設(shè)備狀況做到一目了然。
立式甩干機SA-SV422 | ||
序號 | 項目 | 主要性能指標和參數(shù) |
1、 | 電壓 | 220VAC |
2、 | 頻率 | 50Hz |
3、 | 功率 | 3.5KW |
4、 | 加工晶片規(guī)格 | 150MM及100MM |
5、 | 工作工位數(shù) | 4個（2個6寸 2個4寸） |
6、 | 工作建議轉(zhuǎn)速 轉(zhuǎn)速 | 1400轉(zhuǎn)/分 1800轉(zhuǎn)/分 |
7、 | 排水口管徑 | 32mm（upvc） |
8、 | 排風(fēng)口徑 | 110mm |
9、 | 主要功能 | 甩干、烘干 |
10、 | 外形尺寸 | 810*810*900mm具體尺寸以實物為準 |
立式甩干機SA-SV422
該系列臥式甩干機具有較高潔凈度的沖洗甩干功能，主要應(yīng)用于太陽能電池片、半導(dǎo)體晶圓片、藍寶石片等材料的干燥工藝。
