1、伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)及主軸連接技術(shù)
1.1離心旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是設(shè)備的核心功能，旋轉(zhuǎn)電機(jī)就成為設(shè)備的核心部件之一。本機(jī)采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)方式，實(shí)現(xiàn)無極調(diào)速加減速可調(diào)。
1.2主軸采用雙作用軸承提高軸向及徑向負(fù)載能力，間隙更小。軸端與轉(zhuǎn)盤間采用氣密封保護(hù)，隔絕外界油污及大氣污染腔體。保證圓片潔凈度。
2、工作腔
工作腔體采用耐腐蝕的不銹鋼焊接而成，腔體、籃架、支架等采用電解拋光鈍化技術(shù)，易擦洗不生銹。
3、旋轉(zhuǎn)載體及片架結(jié)構(gòu)
3.1旋轉(zhuǎn)載體由不銹鋼轉(zhuǎn)盤和可方便更換的不銹鋼片架組成，如需更換片架，只需將片架卸下，即可更換為另一種片架。
3.2片架采用可反轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，放置花籃時(shí)將花籃翻轉(zhuǎn)到一定角度可方便的將花籃放進(jìn)片架內(nèi)。
3.3該旋轉(zhuǎn)載體及片架結(jié)構(gòu)不僅更換方便，而且結(jié)構(gòu)簡潔，沖洗和甩干時(shí)，晶片及片盒不會(huì)留下死角。
4、層流風(fēng)干法
晶片在旋轉(zhuǎn)過程中，產(chǎn)生同一方向的氣流，氣流由設(shè)備門蓋上方進(jìn)入至上而下的氣流方向，經(jīng)由排風(fēng)排水管道出。排風(fēng)口在上方，排水口在下方。 氣流經(jīng)由除靜電裝置及高效過濾器處理微塵，滿足顆粒度要求。
5、免沖水設(shè)計(jì)
設(shè)備無需增加額外沖水功能，避免二次污染，加快干燥工藝時(shí)間。
6、軸系動(dòng)平衡及減震系統(tǒng)
硅片的生產(chǎn)中，降低生產(chǎn)過程中的碎片率是降低成本、提的重要手段。而晶片干燥過程中震動(dòng)過大、減震不良是造成碎片的主要原因。我們采用的現(xiàn)場動(dòng)平衡儀，對設(shè)備的整個(gè)軸系進(jìn)行動(dòng)平衡。
7、系統(tǒng)控制技術(shù)
7.1控制系統(tǒng)采用可編程邏輯控制器，彩色液晶觸摸屏漢顯監(jiān)控?？纱鎯Χ喾N用戶工藝菜單。同時(shí)具有密碼保護(hù)功能，用戶只有在輸入正確的密碼后才可對工藝菜單進(jìn)行編輯和修改，否則只能調(diào)用已經(jīng)保存工藝菜單。另外，根據(jù)用戶的反饋，增加了管理員密碼功能，以加強(qiáng)對工藝菜單的保護(hù)。
7.2設(shè)備運(yùn)行過程中的工藝時(shí)間、轉(zhuǎn)子速度、轉(zhuǎn)速和工作狀態(tài)以及故障信息等均在觸摸屏上顯示，使用戶對設(shè)備狀況做到一目了然。
立式甩干機(jī)SA-SV4J | ||
序號 | 項(xiàng)目 | 主要性能指標(biāo)和參數(shù) |
1、 | 轉(zhuǎn)子直徑 | 580mm |
2、 | 片架放置個(gè)數(shù) | 4個(gè)，4寸/25片花籃 |
3、 | 旋轉(zhuǎn)速度 | 100—800r/min |
4、 | 使用氮?dú)鈮毫?/p> 使用氮?dú)夂牧?/p> | 0.3—0.4MPa 5—20l/min |
5、 | 驅(qū)動(dòng)電機(jī) | 伺服電機(jī)1500W |
6、 | 系統(tǒng)控制 | PLC |
7、 | 顯示 | 彩色觸摸屏 |
8、 | 管件 | PFA管 |
9、 | 主要功能 | 甩干、烘干、高效加熱、桶加熱 |
10、 | 外形尺寸 | 810*810*900mm具體尺寸以實(shí)物為準(zhǔn) |
立式甩干機(jī)SA-SV4J
該系列臥式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)是根據(jù)目前光電行業(yè)和半導(dǎo)體分立器件等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展情況和市場需求研發(fā)的一種沖洗甩干設(shè)備，整機(jī)采用立式裝片結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)包括去離心甩干、循環(huán)風(fēng)干燥、故障顯示報(bào)警互鎖等功能在內(nèi)的全自動(dòng)處理過程。
