晶圓清洗專用表面活性劑圖片

TSC-1：一般的EO（環(huán)氧乙烷，-（CH2CH2O)n-）具有20mol的結(jié)構(gòu)并且具有高度的親水性。通過(guò)精煉金屬以防止污染，且達(dá)到高純度規(guī)格。TSC-S：因?yàn)榫哂刑厥獾姆宇怑O，比TSC-1更具有親水性。達(dá)到預(yù)期更高的水平（大約TSC-1