注塑機 擠出機 造粒機 吹膜機 吹塑機 吹瓶機 成型機 吸塑機 滾塑機 管材生產(chǎn)線 板材生產(chǎn)線 型材生產(chǎn)線 片材生產(chǎn)線 發(fā)泡設(shè)備 塑料壓延機
昆山友碩新材料有限公司
昆山友碩新材料有限公司
產(chǎn)品型號4001500108
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地蘇州市
塑料機械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時間：2021-02-05 14:01:39瀏覽次數(shù)：740次
聯(lián)系我時，請告知來自 塑料機械網(wǎng)暫無信息 |
超薄晶圓平坦化加工夾持的方法與流程。目前國外對于LT薄片加工的方法為雙面拋光后進(jìn)行單面粗化來達(dá)到制程應(yīng)用的需求，但此種工藝需對晶片進(jìn)行雙面拋光加工，加工時間與成本上升許多，且難以保證單面粗化的過程對于晶片另一表面不會造成損傷。
超薄晶圓平坦化加工夾持的方法與流程。目前國外對于LT薄片加工的方法為雙面拋光后進(jìn)行單面粗化來達(dá)到制程應(yīng)用的需求，但此種工藝需對晶片進(jìn)行雙面拋光加工，加工時間與成本上升許多，且難以保證單面粗化的過程對于晶片另一表面不會造成損傷。
國內(nèi)另有一種現(xiàn)有工法為單面拋光制程，該制程利用上蠟或者吸附墊方式將晶片固定住，然而此作法做出來的晶片平坦度水準(zhǔn)較雙拋工藝差，常常造成后段黃光微影制程的困擾，致使晶片表現(xiàn)不佳亦或是短路。
雙拋工藝受限夾治具的剛性強度要求，晶片越往薄化發(fā)展代表對應(yīng)的夾具需要更薄，此時夾具剛性已無法提供穩(wěn)定的加工保證，其時成品率將大幅降低或者加工成本會大幅上升。
使用上蠟將晶片固定的作法也容易因為上下蠟制程普遍需要升溫或降溫促使身為壓電材料的LT發(fā)生破碎，尤其是晶片厚度較薄時。
使用吸附墊方式將晶片固定的作法也無法將晶片做薄，主要原因為LT晶片材質(zhì)易碎薄化過程中背面使用軟的吸附墊晶片容易造成形變發(fā)生碎片。
上述的幾項傳統(tǒng)加工工藝無法達(dá)到LT晶片厚度<200um，且平坦度在5mm2<0.5um，PLTV>95%穩(wěn)定產(chǎn)品品質(zhì)要求，為此，我們提出一種超薄晶圓平坦化加工夾持的方法。
友碩ELT晶圓平坦化設(shè)備：
?很好的螢光膜涂佈方案，精準(zhǔn)控制厚度，達(dá)到理想中BIN率
?很具價格競爭性的CSP製程
?輕易實現(xiàn)MiniLED 拼接問題
?解決MicroLED Mass Transfer 良率問題
?LED 偏黃報廢品重工
?實踐各種結(jié)構(gòu)的可行性 (阻水結(jié)構(gòu)、Bump結(jié)構(gòu))
?解決料帶靜電吸附的問題
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
塑料機械網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
