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半導(dǎo)體冷熱測(cè)試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller

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半導(dǎo)體冷熱測(cè)試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller，本設(shè)備采用變頻控溫方式，提高能效，減少能耗。-20℃下目標(biāo)制冷量可以達(dá)到3600W，滿(mǎn)足用戶(hù)制冷需求。精QUE控溫，控溫穩(wěn)定性達(dá)到±0.1℃，使用范圍廣，設(shè)定溫度：-20℃~80℃。

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體冷熱測(cè)試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過(guò)程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

本設(shè)備采用變頻控溫方式，提高能效，減少能耗。-20℃下目標(biāo)制冷量可以達(dá)到3600W，滿(mǎn)足用戶(hù)制冷需求。精QUE控溫，控溫穩(wěn)定性達(dá)到±0.1℃，使用范圍廣，設(shè)定溫度：-20℃~80℃。

半導(dǎo)體冷熱測(cè)試一體機(jī) 循環(huán)制冷機(jī)chiller

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機(jī)械拋光)，實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營(yíng)成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫

可用選項(xiàng)