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桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng) Desktop Pro

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上海繪吉電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng) Desktop Pro

詳細(xì)介紹

桌面型高性能磁控濺射系統(tǒng)
Desktop Pro提供了一種高性能，小巧，實(shí)惠的磁控濺射系統(tǒng)
節(jié)省空間
Desktop Pro只需要不到36英寸的空間（0.9m）
節(jié)省費(fèi)用
一個(gè)電源可以驅(qū)動兩個(gè)靶槍
均勻性好
傾斜的靶槍和旋轉(zhuǎn)工件盤使得在整個(gè)工件盤上達(dá)到5%的鍍膜均勻性
抽真空速度快
抽速65lps的渦輪分子泵，保證系統(tǒng)優(yōu)秀的抽真空性能和對反應(yīng)氣體的負(fù)載能力
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強(qiáng)大的控制系統(tǒng)
基于PLC的觸摸屏控制系統(tǒng)提供下列操作模式：維修模式，手動操作模式和半自動操作模式
互鎖保護(hù)避免不適當(dāng)操作對人員和設(shè)備的損害

典型應(yīng)用
磁控濺射
磁控濺射
材料研究
產(chǎn)品質(zhì)量控制和分析
半導(dǎo)體失效分析
納米技術(shù)
復(fù)合半導(dǎo)體

可選項(xiàng)
磁控濺射
液氮冷阱
共濺射
射頻/直流濺射電源
多靶槍
質(zhì)量流量控制器，精確控制氣體流量
泵選項(xiàng)
無油機(jī)械泵