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上海繪吉電子科技有限公司
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更新時間：2022-09-14 09:40:08瀏覽次數(shù)：225次
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1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-HVC
GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，其工作溫度可達1600℃，極限真空度可達 to 10^-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
| 技術(shù)參數(shù) | ||
|---|---|---|
| GSL-1700X 系列管式爐 | 殼體 | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C. ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 ● 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 ● 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上，方便移動 ● 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機組 |
| 爐管 | ● 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 ● 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上 ● （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Length ● （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Length | |
| 功率 | 6KW | |
| 工作電壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | |
| 加熱元件 | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |
| 工作溫度 | ● 工作溫度.: 1650°C ● 連續(xù)工作溫度.: 1600°C | |
| 升溫速率 | ≤5°C/min | |
| 加熱區(qū)長度 | ● 加熱區(qū)長度: 457 mm (18") ● 恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系 | |
| 溫控系統(tǒng) | ● 采用PID方式自動控制，并可設(shè)置30段升降溫程序 ● 控溫精度: ±1°C ● 控溫儀表操作視頻 ● 熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi) | |
| 真空法蘭 | ● 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝 ● 法蘭上帶有一機械壓力表 ● 兩個精密針閥 ● 一個KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口 ● 一個1/4"卡套接頭 | |
| 外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm | |
| 高真空機組 | 功率 | 100~110W |
| 工作電壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | |
| 外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |
| 殼體 | ● 殼體尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 承載量:600 Lbs on top ● 分子泵控制面板:LCD 數(shù)字顯示 ● 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: | |
| 控制面板 | ● 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動） ● 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率      | |
| 抽氣速率 | ● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s | |
| 工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
| 極限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) | |
| MFC 質(zhì)量流量控制器 | 殼體 | ● 采用 316不銹鋼制作 ● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm ● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm ● MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶要求定制  |
| 功率 | 18W | |
| 工作電壓 | AC 208-240V, 單相, 50/60Hz | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 | |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | ● CE 認(rèn)證 ● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證 ● 若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證 | |
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