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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

型號(hào)：OTF-1200X-50-4CLV-PE

品牌：科晶

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 核心參數(shù)

升溫速度（達(dá)到溫）
10℃
內(nèi)部尺寸
外徑: 50 ×內(nèi)徑: 44 ×長(zhǎng): 1000 mm
加熱方式
電阻絲
功率
3KW
控溫精度
±1℃
溫度
1200℃
儀器種類
管式爐

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD），內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)

實(shí)驗(yàn)機(jī)理	輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍
產(chǎn)品特點(diǎn)	雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計(jì)和高真空系統(tǒng)氣體組成 OTF-1200X開啟式管式爐，工作溫度高達(dá)1200℃ 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的組成圖
開啟式管式爐	工作溫度：1200℃ 爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：150mm 功率：AC 220V 4KW
等離子射頻電源	輸出功率：50-500W可調(diào)±1% RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% 噪聲：≤55DB 冷卻：風(fēng)冷輸入功率：1KW AC 220V
真空泵和閥門	采用KF25系列波紋管和精密針閥連接真空度可達(dá)10-3torr 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10^-5至 1125Torr.不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
質(zhì)量流量計(jì)	內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02% 一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入進(jìn)氣口：采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
細(xì)節(jié)圖展示
外形尺寸	爐體：550380520mm 供氣及真空系統(tǒng)：600600597mm 凈重：120KG
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
國(guó)家	名稱：可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置編號(hào)：ZL-2011-2-0355777.1 尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究
使用注意事項(xiàng)：	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）