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更新時(shí)間:2022-09-15 09:02:17瀏覽次數(shù):231次
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正置式顯微鏡
Axio Imager.Vario具有寬大樣品空間,十分適合于半導(dǎo)體行業(yè)(比如太陽(yáng)能電池、晶圓加工檢測(cè)、平板顯示器(FPD))成產(chǎn)的材料檢測(cè)、工藝研發(fā),以及在線檢測(cè)。
技術(shù)參數(shù)
1、物鏡:5x、10x、20x、50x、100x(可選1.25x,2.5、150x,可選LD功能)。
2、目鏡:放大10x(可選16x、25x);視場(chǎng)數(shù)23(可選25)。
3、物鏡自動(dòng)聚焦行程:5mm。
4、樣品空間深度(光軸到立柱的距離);385mm。
5、載物臺(tái)行程:
透反兩用手動(dòng)載物臺(tái),200mmX200mm移動(dòng)范圍;
反射光用手動(dòng)載物臺(tái),300mmX300mm移動(dòng)范圍;
透反兩用電動(dòng)載物臺(tái),200mmX200mm移動(dòng)范圍;
透反兩用電動(dòng)載物臺(tái),反射光用時(shí)300mmX300mm移動(dòng)范圍,透射光用時(shí)200mmX200mm移動(dòng)范圍。
6、顯微鏡模塊質(zhì)量:17.5到20kg。
7、光源:12V100W鹵素?zé)?,智能化光路管理器,光?qiáng)色溫自動(dòng)可調(diào)。
8、可擴(kuò)展性:可選自動(dòng)聚焦,可選透射光路。
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