半導(dǎo)體封裝氫氮智能配氣設(shè)備

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更新時(shí)間：2023-01-07 09:02:02瀏覽次數(shù)：246次

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蘇州晟宇氣體設(shè)備有限公司

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半導(dǎo)體封裝氫氮智能配氣設(shè)備采用熱式質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量變送器為主體的全自動(dòng)氫氮配氣設(shè)備

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體封裝氫氮智能配氣設(shè)備采用熱式質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量變送器為主體的全自動(dòng)氫氮配氣設(shè)備，在PLC內(nèi)完成自編程序，壓力傳感器和氣動(dòng)閥門的作用下，質(zhì)量流量計(jì)計(jì)算氮?dú)廨敵隽髁亢髷?shù)據(jù)傳送給質(zhì)量流量變送器嚴(yán)格控制氫氣的注入量，忽略原氣壓力，流量變化，在混合氣使用點(diǎn)始終得到精確配氣，混合氣輸出端氫氣分析儀監(jiān)控，驗(yàn)證混合氣中氫含量，觸摸屏完成數(shù)據(jù)采集，所有參數(shù)清晰可見，更換配氣比例，一鍵完成，一鍵儲(chǔ)存，設(shè)備有聯(lián)鎖互鎖功能，杜絕誤操作，數(shù)據(jù)輸出端設(shè)有485接口，聯(lián)機(jī)可以完成數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳，遠(yuǎn)程控制設(shè)備工作原理；

半導(dǎo)體封裝氫氮智能配氣設(shè)備進(jìn)入配比柜的氫氣、氮?dú)饨?jīng)配氣進(jìn)口減壓穩(wěn)壓后，由各路數(shù)字氣體流量計(jì)指示各種氣體流量、壓力，然后經(jīng)PLC計(jì)算控制需要注入的量，來達(dá)到配比需要的混合含量。配比在后級(jí)流量變化時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)需要加入的氫氣、氮?dú)獾暮?，并由分析儀實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)配比氣體的百分含量比。配比柜采用觸摸屏顯示并控制配氣參數(shù)，有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)。

1、采用數(shù)字流量計(jì)，實(shí)時(shí)顯示各路氣體的用氣量。

2、進(jìn)口壓力有波動(dòng)時(shí)，自動(dòng)調(diào)節(jié)加入量并保持配比含量。

3、高精度壓力傳感器實(shí)時(shí)控制并監(jiān)測(cè)混合氣體壓力。

4、設(shè)各路報(bào)警，限度保證配比器的正常運(yùn)行。

5，配氣裝置采用分箱式結(jié)構(gòu)，由獨(dú)立控制柜和配氣執(zhí)行器組成。完成遠(yuǎn)程控制需要

6，電器機(jī)柜全封閉設(shè)計(jì)，充氮?dú)庹龎罕Ｗo(hù)，除保護(hù)電氣外還起防爆隔離效果（選配）

7，原氣進(jìn)氣口加裝顆粒小于0.1um的高精度過濾器，切實(shí)保護(hù)質(zhì)量流量控制器，杜絕隱患。

8，調(diào)整配氣參數(shù)，界面清晰，數(shù)字輸入，一鍵運(yùn)行，一鍵儲(chǔ)存，瞬時(shí)配氣，互鎖連鎖功能杜絕誤操作。

9，內(nèi)置多套自編程序，質(zhì)量流量計(jì)線性測(cè)量不足，小流量狀態(tài)下自動(dòng)觸發(fā)轉(zhuǎn)換程序，穩(wěn)定供氣。

10，整體機(jī)柜人性化設(shè)計(jì)：移動(dòng)式腳輪，移動(dòng)快捷便利，帶固定平衡支撐。