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SRBZ820C-SMSX潔凈機(jī)器人

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沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：134條

所在地區(qū)：遼寧沈陽市

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產(chǎn)品簡介

磁流體密封、網(wǎng)絡(luò)化控制器、MCBF大于1000萬次，SEMI認(rèn)證S2，F(xiàn)47，迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)具有手臂長度、自由度可選，手指及接口用戶可定制的特征，耐腐蝕，動(dòng)態(tài)糾偏和碰撞保護(hù)功能。

詳細(xì)介紹

采用*的磁流體密封技術(shù)，具有噪音小、振動(dòng)小、運(yùn)行平穩(wěn)、精度高等特點(diǎn)。具有更靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)機(jī)械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃，提高運(yùn)動(dòng)節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能。安全區(qū)保護(hù)等功能有效地提高了產(chǎn)品的安全等級。在半導(dǎo)體前道設(shè)備中廣泛應(yīng)用，對設(shè)備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務(wù)，快速響應(yīng)的售后服務(wù)，以及敦實(shí)的技術(shù)實(shí)力，是我們的主要競爭力。推動(dòng)了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。

參數(shù)：

型號		SRBZ820C-SMSX
密封方式		磁流體密封
自由度數(shù)		2
負(fù)載	名稱	托盤
	直徑	Φ330mm
	重量	1.5kg
運(yùn)動(dòng)范圍	R軸（mm）	立柱中心至R軸伸展處被搬運(yùn)物體中心距離820
	θ軸（°）	360
全行程最小時(shí)間	R軸（s）	2.5
	θ軸（s）	4.8
重復(fù)定位精度	θ軸（°）	±0.01（3σ）
	R軸（mm）	±0.1（3σ）
重量	機(jī)械手本體	41kg
	控制器	15kg
耐真空度(Pa)		＜5×10^-9 Torr
漏率		＜1×10^-9 std.cc/sec He
碰撞保護(hù)		盤片和機(jī)械手無損傷
行程		820mm
電源范圍電壓波動(dòng)范圍		單相交流208V +10%，-15%