當(dāng)前位置：沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司>>潔凈機(jī)器人>>真空機(jī)械手PHOENIX-B系列

真空機(jī)械手PHOENIX-B系列

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地沈陽(yáng)市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

塑料機(jī)械網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-09-11 13:41:10瀏覽次數(shù)：193次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自塑料機(jī)械網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

暫無(wú)信息

沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：134條

所在地區(qū)：遼寧沈陽(yáng)市

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有*的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能，通過(guò)SEMI認(rèn)證。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。

詳細(xì)介紹

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒(méi)有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖，傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能?？梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。

參數(shù)：

本體重量Body Weight	50KG
適用晶圓尺寸Wafer Size	300mm/200mm/150mm/100mm
負(fù)載Payload	1KG
電源輸入Power Supply	AC電壓:AC208V AC頻率：50HZ/60HZ
節(jié)拍Bear	8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據(jù)手指材料，傳輸位置不同相關(guān))
動(dòng)態(tài)偏差糾正精度(AWC)	±0.1mm
重復(fù)定位精度Repeatability	Z: ±0.05mm（3σ）
	T: ±0.003°（3σ）
	R: ±0.05mm（3σ）
漏率Leak rate	< 1 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure	5X10^-9Torr
適用溫度 Applicable temperature	法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃
潔凈度Clean Class	ISO CLASS1
MCBF	>11million cycles
復(fù)合運(yùn)動(dòng) Compound motion	支持Support
PC遠(yuǎn)程操作軟件	支持Support
通信接口Communications	Ethernet/串口serial interface
IO互鎖IO interlock	支持Support
安全區(qū)Safe area	支持Support
碰撞保護(hù) Collision protection	支持Support
認(rèn)證Certification	SEMI S2 /SEMI F47/CE