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TTS-4000 EFEM（4工位EFEM）

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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一體化程度高，自動(dòng)化程度高，安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶(hù)定制。

詳細(xì)介紹

新松一直致力于提供半導(dǎo)體晶圓加工和其他復(fù)雜的制造環(huán)境所需的高性能、超潔凈和久經(jīng)考驗(yàn)的可靠性。該四工位EFEM是集成大氣機(jī)器人，預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)以及緩存工位等部件的綜合性產(chǎn)品，可以給客戶(hù)提供晶圓傳送的一體化方案。產(chǎn)品具有很強(qiáng)的適應(yīng)性，以滿(mǎn)足特定的應(yīng)用需求。推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國(guó)內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造商的期望和要求。

參數(shù)：

項(xiàng) 目		Input信息
Wafer規(guī)格	材質(zhì)尺寸	300mm wafer
	Alignment Mark	Notch
	厚度	標(biāo)準(zhǔn)wafer
	溫度	≤200℃
與傳送片接觸處的材質(zhì)		陶瓷
片盒規(guī)格（類(lèi)型、廠(chǎng)家、段數(shù)、段間距等）		Foup
AMHS（自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)）要求		OHT
搬送精度（Alignment精度）		±0.1mm
Particle Spec		ISO Class 1
Throughput		>100wfrs/h
Stage數(shù)（LP數(shù)）		4
Load Lock	Stage數(shù)（LL）	4
	位置（XYZ）	四個(gè)LL
	Wafer放置精度　X-Y	±0.1mm
	Wafer放置角度精度	/
整機(jī)規(guī)格		參照尺寸說(shuō)明
Foot Print	Ｗ	≤2575
	Ｄ	≤750
	Ｈ	≤2500
重量		≤1600KG
整機(jī)設(shè)計(jì)參照標(biāo)準(zhǔn)		SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400
軟件界面設(shè)計(jì)參考標(biāo)準(zhǔn)		SEMI E30, E84