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廈門佰氟達科技有限公司
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產(chǎn)品型號ST140，ST120
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地廈門市
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更新時間：2023-12-29 15:34:39瀏覽次數(shù)：337次
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廈門佰氟達廠家生產(chǎn)供應批發(fā)銷售半導體光伏設備風囊泵。半導體設備風囊泵(Semiconductor Equipment Bellows Pump)是一種用于半導體制造設備中的泵類產(chǎn)品。它是通過風囊原理來實現(xiàn)抽取、輸送和封閉氣體的裝置。
半導體設備風囊泵通常由以下幾個部分組成：
1. 風囊：風囊是泵的核心部件，采用柔性材料制成，如橡膠、硅膠等。通過風囊的膨脹和收縮來實現(xiàn)氣體的吸入和排出。
2. 驅(qū)動機構(gòu)：驅(qū)動機構(gòu)用于控制風囊的膨脹和收縮，常見的驅(qū)動方式有氣動、電動等。
3. 進氣口和出氣口：進氣口用于吸入氣體，出氣口用于排出氣體。通常與半導體設備的管道系統(tǒng)相連接。
半導體設備風囊泵具有以下特點：
1. 無潤滑和無摩擦：由于風囊泵采用風囊原理，無需潤滑劑，減少了與氣體接觸的摩擦，避免了對半導體生產(chǎn)過程的污染。
2. 高度密封性：通過風囊的膨脹和收縮，可以實現(xiàn)較高的密封性能，能夠有效地抽取和輸送氣體。
3. 耐腐蝕性：半導體設備風囊泵通常采用耐腐蝕材料制成，能夠適應半導體制造過程中的腐蝕性介質(zhì)。
4. 精確控制：半導體設備風囊泵能夠通過控制驅(qū)動機構(gòu)的工作方式，實現(xiàn)對膨脹和收縮過程的精確控制。
半導體設備風囊泵在半導體制造領域中起到了重要的作用，主要用于氣體抽取、輸送和封閉等多個環(huán)節(jié)。它具有無摩擦、高密封性和耐腐蝕等優(yōu)點，在半導體生產(chǎn)過程中能夠提供穩(wěn)定可靠的氣體供應。
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