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RMDJL系列單晶爐機組

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更新時間：2024-11-28 16:18:29瀏覽次數(shù)：68次

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產(chǎn)品簡介

RMDJL系列單晶爐機組

詳細介紹

商品名稱: RMDJL系列單晶爐機組
商品編號: 1179458926638944256

單晶爐應(yīng)用概述

單晶爐是主要用于生產(chǎn)無錯位單晶的設(shè)備。設(shè)備主要分成兩個部分：

1.在惰性氣體填充環(huán)境內(nèi)，多晶硅等多晶材料將通過石墨加熱器進行融化。

2.設(shè)備內(nèi)部安裝提拉頭，將對融化的多晶材料進行直拉并最終生產(chǎn)出產(chǎn)品。

單晶爐生產(chǎn)過程需輔助配套真空機組，針對單晶爐生產(chǎn)工藝需求，真空機組需求進行專門配置和定制化設(shè)計以完善符合單晶爐應(yīng)用工藝。

ReM 定制化單晶爐真空機組

冉昆真空科技提供的單晶爐設(shè)備配套真空機組以高效羅茨螺桿真空機組作為主體，機組后端配置消音器可有效降低設(shè)備運轉(zhuǎn)過程中的噪音。機組前端配置過濾器，該裝置可以選配。過濾器的添加將有效降低單晶爐中潛在的粉塵顆粒進泵的幾率。客戶可根據(jù)工況實際情況進行選配。

主體設(shè)備常規(guī)配置：

序號	泵種	設(shè)備型號	電機功率，KW	電機形式
1	羅茨真空泵	ZJ-150D	4	水冷封閉電機
2	干式螺桿真空泵	RMD-200D	7.5	水冷封閉電機

如上機組型號： RMDJL150-T

結(jié)合單晶爐運行特點，機組配置針對電氣控制、保護裝置。機組可有效對運行溫度水平進行監(jiān)控。。當(dāng)出現(xiàn)高溫情況，將分別進行報警和停機另，機組配置定制化電控箱，可有效進行機組控制等操作。同時機組真空度、氮氣氣源皆可通過調(diào)節(jié)閥、壓力表分別進行控制和監(jiān)控。另，選配方面針對機組前端過濾器，機組可通過進行壓差檢測，并實時對濾芯堵塞狀態(tài)進行提示和報警。

RMDJL150-T 型羅茨螺桿真空機組性能參數(shù)列表：

機組型號		單位	RMDJL150-T
抽氣速率		L/S （50Hz/60Hz）	175/210
抽氣速率		m3/h （50Hz/60Hz）	630/756
極限真空		Pa （50Hz/60Hz）	≤0.2/0.1
極限真空		Torr （50Hz/60Hz）	≤1.5X10-3/≤7.5X10-4
水冷密封電機	頻率	Hz	50/60
	電壓	V	380
	功率	kW	3+4.5
轉(zhuǎn)速	羅茨真空泵 ZJ-150D	rpm （50Hz/60Hz）	2900/3480
轉(zhuǎn)速	干式螺桿真空泵 RMD-200D	rpm	2900
氮氣	壓力	MPa	0.05-0.1
氮氣	流量	l/min	6-20
冷卻水	壓力	MPa	0.2-0.4
	壓力差	MPa	0.1
	溫度	℃	10-30
	流量	l/min	3-5
進氣口徑		mm	DN100
排氣口徑		mm	DN40
重量		Kq	600
噪音		dB（A）	72
外形尺寸（長×寬×高）		mm	1000×660 ×1050

RMDJL150-T 型螺桿真空機組供貨范圍

序號	設(shè)備名稱	數(shù)量	單位	備注
機械部分
1	ZJ-150D羅茨真空泵	1	臺
2	RMD-200D 螺桿真空泵	1	臺
3	減震墊	4	個
4	機組底座	1	套	配置萬向輪
5	消音器	1	個
6	副水箱	1	個
7	過濾器	1	臺	可選配置
電氣閥門部分
8	水冷封閉電機	2	臺
9	水溫檢測器	1	個
10	氮氣壓力表	1	個
11	壓力調(diào)節(jié)閥	1	個
12	電磁壓差閥	1	個	可選配置
13	電控箱	1	個	可選配置
管路部分
14	電源、氣源、水路接口	1	套
15	波紋管（DN40）	1	個
16	波紋管（DN100）	1	個	可選配置
17	過濾器電磁壓差閥	1	個	可選配置