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太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡-THz-NeaSNOM

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QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易（北京）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

--30nm光學(xué)信號(hào)空間分辨率太赫茲（THz）光源波長(zhǎng)較大，一般在300微米左右。由于衍射極限的存在，THz遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無法滿足對(duì)材料科學(xué)研究，尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究（例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成：源極，漏極，柵極）的實(shí)驗(yàn)。THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個(gè)很好的解決方案。德國(guó)neaspec公司與Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上，已經(jīng)成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達(dá)到30nm的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)/基本參數(shù)

+ 優(yōu)于30nm的空間分辨率
+ 常用THz光范圍：0.1-3THz
+ 設(shè)計(jì)的寬波段拋面鏡
+ THz研究可使用商業(yè)化的AFM探針
+ THz-TDS使用飛秒激光光源
+ 簡(jiǎn)單易用，穩(wěn)定性高