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武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地武漢市
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面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游原材料生產(chǎn)企業(yè)、中游晶圓生產(chǎn)企業(yè),采用獨(dú)立開發(fā)的光學(xué)明暗場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),對(duì)半導(dǎo)體原片、外延片、無(wú)圖形晶圓的外觀缺陷進(jìn)行檢測(cè)。 檢測(cè)精度 7 μm 檢測(cè)鏡頭 高清工業(yè)鏡頭 整機(jī)尺寸(mm) 1800*1300*2250
適用于4—8英寸原片、襯底、外延片及無(wú)圖形晶圓
檢測(cè)顆粒、凹坑、凸起、劃傷、污點(diǎn)、裂紋等缺陷
系統(tǒng)分辨率:1-10μm
無(wú)圖形晶圓:缺陷數(shù)量在200個(gè)以內(nèi)的情況下,180秒/片
項(xiàng)目 | 主要技術(shù)參數(shù) | |
常規(guī)參數(shù) | Wafer尺寸 | 標(biāo)配4" , 6"(可擴(kuò)展4"-8") |
料盒數(shù)量 | 雙層, 14 pcs | |
上下料方式 | 機(jī)械手, Mapping掃描 | |
運(yùn)動(dòng)平臺(tái) | Y行程 350mm,重復(fù)精度 10μm Z行程 8mm,重復(fù)精度 5μm | |
產(chǎn)能 | 4" , 140WPH 6" , 120WPH | |
檢測(cè)性能 | 檢測(cè)精度 | 7 μm |
相機(jī) | 高分辨率工業(yè)相機(jī) | |
鏡頭 | 高清工業(yè)鏡頭 | |
光源 | 光源 | |
使用環(huán)境 | 供電規(guī)格 | AC220V, 50Hz |
氣源要求 | 0 .5-0 .7Mpa壓縮空氣, 無(wú)明顯水汽和油脂 | |
設(shè)備重量 | 溫度15-40℃, 濕度要求30%-70%, 無(wú)凝霜 | |
整機(jī)尺寸 | 1800mm*1300mm*2250mm |
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