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武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
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武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地武漢市
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更新時(shí)間：2025-01-31 12:04:39瀏覽次數(shù)：44次
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面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游的原材料生產(chǎn)企業(yè)，采用獨(dú)立開發(fā)的光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)半導(dǎo)體原片、外延片的尺寸和平面度進(jìn)行檢測(cè)。 重復(fù)精度 ±0 . 1 μm 檢測(cè)厚度 ± 1 mm 整機(jī)尺寸（mm） 1800*1300*2250
用于各種材質(zhì)各種拋光狀態(tài)的4—8英寸原片、襯底及外延片
厚度范圍:0—1mm 測(cè)量精度:士1μm 重復(fù)精度:0.2μm
測(cè)量時(shí)間:30s/pcs(依據(jù)客戶檢測(cè)軌跡)
| 項(xiàng)目 | 主要技術(shù)參數(shù) | ||
| 常規(guī)參數(shù) | Wafer尺寸 | 4" , 6" | |
| 料盒數(shù)量 | 雙層， 14 pcs | ||
| 上下料方式 | 機(jī)械手， Mapping掃描 | ||
| 運(yùn)動(dòng)平臺(tái) | X行程150mm， Y行程150mm， | 重復(fù)精度 ±0 . 1 μm 重復(fù)精度 ±0 . 1 μm | |
| 產(chǎn)能 | 4" , 240WPH 6" , 220WPH | ||
| 檢測(cè)性能 | 檢測(cè)功能 | 晶圓（貼膜晶圓）厚度、TTV、翹曲度 | |
| 厚度測(cè)試精度 | ±0 .5 μm， 重復(fù)性： 0 . 1 μm（連續(xù)測(cè)試25片， 每片測(cè)試5點(diǎn) ） | ||
| 厚度范圍 | ± 1 mm | ||
| TTV測(cè)試精度 | ±0 .5 um， 重復(fù)性： 0 .2 μm | ||
| 翹曲度測(cè)試精度 | ± 2 μm， 測(cè)試范圍： ± 600μm， 重復(fù)性： 1 μm | ||
| 使用環(huán)境 | 供電規(guī)格 | AC220V,50Hz | |
| 氣源要求 | 0.5-0.7Mpa壓縮空氣，無(wú)明顯水汽和油脂 | ||
| 設(shè)備重量 | 溫度15-40℃。濕度要求30%-70%，無(wú)凝霜 | ||
| 整機(jī)尺寸 | 1800mm*1300mm*2250mm | ||
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