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DINO帝隆PFA氣動(dòng)閥

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上海奇穆實(shí)業(yè)有限公司總代理中國(guó)臺(tái)灣DINO純水藥液PFA氣動(dòng)閥PFA閥門(mén)是一種用于半導(dǎo)體制造等高純度流體工業(yè)的特殊閥門(mén),主要由PFA材料制成,具有的耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的密封性能

詳細(xì)介紹



  上海奇穆實(shí)業(yè)有限公司總代理中國(guó)臺(tái)灣DINO純水藥液PFA氣動(dòng)閥

       PFA閥門(mén)是一種用于半導(dǎo)體制造等高純度流體工業(yè)的特殊閥門(mén),主要由PFA材料制成,具有的耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的密封性能。在PFA閥門(mén)中,氣動(dòng)隔膜閥作為其中一個(gè)重要的類型,在流體控制領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。



  PFA氣動(dòng)隔膜閥在高需求的半導(dǎo)體制造和其他高純度液體處理過(guò)程中具有越來(lái)越重要的地位。它采用層壓聚合物、四氟等材料制成的隔膜實(shí)現(xiàn)操作。氣動(dòng)隔膜閥可以快速開(kāi)啟和關(guān)閉,而且可以用于非常高的壓力范圍和流量控制。當(dāng)氣源送入氣動(dòng)閥充氣腔時(shí),隔膜將被推動(dòng),從而打開(kāi)或關(guān)閉閥門(mén),實(shí)現(xiàn)對(duì)流體的控制。



     PFA氣動(dòng)隔膜閥相對(duì)于傳統(tǒng)的金屬閥門(mén)的優(yōu)點(diǎn)在于:首先,PFA材料本身就是一種化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)的聚合物材料,對(duì)多數(shù)酸、堿及有機(jī)溶劑(如氯仿、硝酸等)的化學(xué)腐蝕極小;其次,PFA隔膜保證了閥門(mén)具有良好的密封性能,可以避免介質(zhì)與閥門(mén)內(nèi)壁接觸而產(chǎn)生二次污染。


  在半導(dǎo)體行業(yè)中,PFA閥門(mén)廣泛應(yīng)用于高純度各種介質(zhì)和腐蝕性介質(zhì)的控制,例如制造中使用的超純水、酸堿液體等。同時(shí),在半導(dǎo)體工藝流程中,對(duì)清洗過(guò)程的要求非常高。半導(dǎo)體清洗閥門(mén)通常是采用無(wú)腐蝕、高溫 PFA 材料制成。這種材料經(jīng)受住強(qiáng)酸、強(qiáng)堿甚至是高溫條件的考驗(yàn),并且不會(huì)影響到系統(tǒng)中的微量器件。在清洗閥門(mén)中,特殊設(shè)計(jì)的密封系統(tǒng)可確保不會(huì)出現(xiàn)泄漏或二次污染,并且保持較長(zhǎng)時(shí)間的使用壽命。除此之外,氣動(dòng)隔膜閥門(mén)在清洗過(guò)程中起到了關(guān)鍵的作用。

        





關(guān)鍵詞:PFA 氣動(dòng)閥 隔膜閥
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