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專業(yè)設(shè)備HF800

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更新時間：2024-08-06 14:10:26瀏覽次數(shù)：81次

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廊坊西波爾鉆石技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

該熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要用于CVD金剛石厚膜、CVD金剛石涂層、石墨烯、多晶硅薄膜、SiCN薄膜、氫化硅薄膜以及其他化學(xué)氣相沉積薄膜材料的大批量生產(chǎn)，其特點(diǎn)如下：

1、采用大面積熱絲陣列平行排布，沉積面積可達(dá)到200mm*200mm，并且厚度均勻一致；

2、采用逆變直流電源加熱，電壓輸出穩(wěn)定，穩(wěn)定度優(yōu)于0.1%，保證沉積表面溫度波動小；

3、采用的機(jī)械制造技術(shù)和安全可靠的控制系統(tǒng)，其中基片臺升降精度優(yōu)于0.1mm，基片臺旋轉(zhuǎn)無級調(diào)速，流量計(jì)控制精度優(yōu)于0.5%，保證設(shè)備長期穩(wěn)定工作。

關(guān)鍵詞：流量計(jì)

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