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漢鐘IPH系列半導(dǎo)體專用真空泵

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更新時間：2024-08-19 14:42:57瀏覽次數(shù)：129次

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上海柒孚機械設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

用途： Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特點： IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴(yán)苛制程。它優(yōu)良的性能源自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計。漢鐘型線設(shè)計，上海，中國臺灣，制造。較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式。帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。優(yōu)化的尺寸，即插即用。

詳細(xì)介紹

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