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集成一體式干式螺桿真空泵Neovac S系列

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

概括：Neovac是韓國真空之一的KOWEL公司旗下一體化設(shè)計(jì)真空產(chǎn)品系類，具有清潔、高速、高效的特點(diǎn)，特別適用于半導(dǎo)體、電子器件等精密工藝。韓國Kowel公司幾十年來一直致力于真空技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量及性能都具有較高的可靠性。地處大灣區(qū)的區(qū)域優(yōu)勢(shì)及雅迪勤多年來的通用機(jī)械經(jīng)驗(yàn)，使得Kowel將NEOVAC系列我司。

詳細(xì)介紹

集成一體式干式螺桿真空泵Neovac S系列

概括：Neovac是韓國真空之一的KOWEL公司旗下一體化設(shè)計(jì)真空產(chǎn)品系類，具有清潔、高速、高效的特點(diǎn)，特別適用于半導(dǎo)體、電子器件等精密工藝。

韓國Kowel公司幾十年來一直致力于真空技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量及性能都具有較高的可靠性。地處大灣區(qū)的區(qū)域優(yōu)勢(shì)及雅迪勤多年來的通用機(jī)械經(jīng)驗(yàn)，使得Kowel將NEOVAC系列我司。

產(chǎn)品特點(diǎn)

參數(shù)規(guī)格

型號(hào)		SS 120	SS 200	SS 300
氣量 (50/60Hz)	m3/h	100 / 120	155 / 187	267 / 320
氣量 (50/60Hz)	L/min	1666 / 2000	2583 / 3117	4450 / 5333
極限壓力（50/60Hz）	mbar	2.6×10-2/ 6×10-3	1×10-2/ 6×10-3	9×10-3 / 1.3×10-3
	Torr	2×10-2 / 5×10-3	8×10-3 / 5×10-3	7×10-3/ 1×10-3
	Pa	2.66 / 0.66	1.06 / 0.66	0.93 / 0.13
功率	Kw	3.7	5.5	7.5
口徑	進(jìn)氣口	NW50	NW50	NW50
口徑	排氣口	NW40	NW40	NW50
噪音	db	<65	<65	<65
齒輪油	L	0.45	0.45	1.6
冷卻水流量	L/min	3	3	7
重量	kg	210	350	470

型號(hào)		SS 600W	SS1200W	SS1800W	SS2400W	SS3000W	SS5000W
氣量 (50/60Hz)	m3/h	568 / 660	930 / 1220	1552 / 1862	2026 / 2432	3000	5000
氣量 (50/60Hz)	L/min	11000	20333	31033	40533	50000	83333
極限壓力（50/60Hz）	mbar	6×10-4	6×10-4	6×10-4	6×10-4	6×10-4	6×10-4
	Torr	5×10-4	5×10-4	5×10-4	5×10-4	5×10-4	5×10-4
	Pa	0.06	0.06	0.06	0.06	0.06	0.06
功率	Kw	7.4	7.4	11	15	18.5	30
口徑	進(jìn)氣口	ISO100	ISO100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO320
口徑	排氣口	NW40	NW40	NW40	NW50	ISO63	ISO80
噪音	db	<65	<65	<65	<65	<65	<65
齒輪油	L	1.8	1.8	4.2	5.6	5.6	14.2
冷卻水流量	L/min	4~5	4~5	5~7	11	15	28
重量	kg	340	460	740	970	1070	1600