工業(yè)激光雕刻切割機(jī)激光雕刻機(jī)價(jià)格
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
激光雕刻切割機(jī)準(zhǔn)分子激光的光束近場剖面圖呈非對稱型的高階模式圖。一般準(zhǔn)分子激光輸出光束都是來自激光雕刻切割機(jī),輪廓為長寬比略大于2:1的矩形,在長軸方向(水平)上是高帽型(hat top)分布,在短軸方向(垂直)上是近高斯( quasi—Gaussian)分布。在這兩個(gè)方向上,準(zhǔn)分子激光的發(fā)散角也不一樣。在水平方向上的發(fā)散角較大,一般為十幾毫弧度,而垂直方向上的發(fā)散角為3毫弧度左右,兩個(gè)方向的發(fā)散度比為4:1左右。準(zhǔn)分子激光激光光束在兩個(gè)方向發(fā)散角的差異,使得對于它的整形與變換存在較大的困難。
激光雕刻切割機(jī)準(zhǔn)分子激光的工業(yè)應(yīng)用很大程度依賴*和短期的穩(wěn)定度,以及對輻射特征如脈沖能量、光束直徑、發(fā)散角、點(diǎn)穩(wěn)定度準(zhǔn)分子激光光束橫截面分布立體圖(取向穩(wěn)定度)等的精確控制。因此,除對光束參量評(píng)價(jià)的標(biāo)準(zhǔn)方法外,對激光雕刻切割機(jī)的近場和遠(yuǎn)場光束特征的精確的測量診斷工具是有要求的。尤其重要的是對空間強(qiáng)度剖面的記錄。因此,除對一般光束形狀的快速評(píng)價(jià)外,也允許對zui重要光束特征參量和傳輸參量的評(píng)價(jià)。
激光雕刻切割機(jī)中激光微加工的激光光源通常采用超短、*、超快、高光束質(zhì)量的激光。具有這些特征的激光與材料作用時(shí),能得到明顯的微區(qū)約束性能,對非激光雕刻切割機(jī)加工區(qū)影響小,材料的加工量可以做得非常精細(xì),甚至可以達(dá)到單原子態(tài)分離(燒蝕時(shí)),攝大地提高加工精度。
激光加工的分辨率由公式?jīng)Q定:橫向分辨率
因此,采用波長更短的激光雕刻切割機(jī),可以獲得更小的加工分辨率。比如采用準(zhǔn)分子激光進(jìn)行基于冷加工機(jī)理的作用,對周圍未加工材料幾乎沒有熱影響,因而可以得到接近理想的加工邊界,整齊、陡度高、無飛濺殘留物。加工部位材料可以顯示原質(zhì)材料的優(yōu)良性能,而且在加工中很容易屏蔽常見微加工工藝中的雜質(zhì)吸附效應(yīng):由于屬于無接觸光加工,對材料基體及加工區(qū)的性能(熱物理性能、理化性能、機(jī)械性能、電氣性能)有害影響較小,可得到滿意的加工質(zhì)量??涛g加工側(cè)壁面具有高的垂直度,無側(cè)向鉆蝕作用,呈現(xiàn)較顯著的各向異性刻蝕效果,因此可以得到比常規(guī)的化學(xué)腐蝕、干法刻蝕等微加工手段更大的深寬比。另外,沒有像在硅刻蝕工藝中的<110>,<100>和<111>晶面刻蝕取向選擇性的限制.沿材料的任何方向上都可進(jìn)行準(zhǔn)分子激光的加工。
近場剖面特征:目前,工業(yè)激光雕刻切割機(jī)準(zhǔn)分子激光運(yùn)轉(zhuǎn)在脈沖重復(fù)率達(dá)幾百Hz的水平.在光子微光刻中甚至達(dá)到lkHz或2kHzo如前述,準(zhǔn)分子激光光束的近場割面非圓對稱,其近場剖面測量受脈沖能量間隔的影響,剖面形狀和脈沖能量在大約30個(gè)脈沖后穩(wěn)定。
點(diǎn)穩(wěn)定度:通過測試距離激光器輸出窗口約70cm處的一定數(shù)量激光脈沖輻照點(diǎn)離散度,得到其方向離散值在X方向約90um,在y方向約70um。
脈沖能量穩(wěn)定度:準(zhǔn)分子激光能量分布直方圖呈高斯線型。
束寬:準(zhǔn)分子激光光束口徑較大,一般都在幾毫米到幾十毫米之間。
光束發(fā)散角:準(zhǔn)分子激光光束比其他激光光源發(fā)散角大,因此進(jìn)行光束變換是比較困難的。
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